击在这团锡云上！
“轰！”
在真空的微观世界里，高能激光瞬间将锡气化，将其激发成温度高达几十万度的等离子体。
就在这等离子体诞生的刹那，它释放出了一束微弱却又纯粹无比的极紫外光。
每秒钟五万次的精准狙击，每秒钟五万次的等离子体爆发，才勉强凑够了能够用于曝光的光源亮度。
“产生光源只是第一步。更要命的问题，是如何控制它。”
光源组的负责人看着实验数据，满脸愁容，“EUV光太脆弱了，所有的传统玻璃透镜都会吸收它。光线根本穿不透过去。”
“既然无法穿透，那就只能反射。”
光学研究所接过了这根接力棒。他们放弃了传统的折射透镜，转而为这台光刻机量身打造了一套复杂的全反射镜组。
这要求反射镜的表面平整度，达到一个违背常理的境界。
“多层镀膜，硅与钼的交替叠加，这都只是基础。”
负责打磨这块镜片的光学大匠，指着那块直径超过一米的巨大反光镜，“它的表面粗糙度，必须控制在二十皮米以内。”
这是什么概念？
“如果把这块镜子放大到我们大夏一个行省那么大。”院士用了一个形象的比喻，“那么这块大地上最高的山峰或最深的峡谷，起伏绝对不能超过一根头发丝的厚度！”
这是真正的原子级平坦。
大夏的能工巧匠们，用离子束抛光技术，在无尘车间里耗费了数年光阴，才勉强磨出了几块合格的镜片。
而这，还仅仅只是光刻机数万个精密零件中的冰山一角。
为了防止光线被吸收，整个光刻过程必须在严苛的高真空环境中进行。
为了保证套刻精度，承载硅片的机械双工作台，在高速移动和刹车时，其定位误差不能超过几纳米，这相当于两列高速行驶的动车并排行驶，误差不能超过一粒米。
这项被命名为极光的超级工程，几乎抽干了大夏近二十年在材料学、流体力学、精密机械加工和光学领域的全部顶尖心血。
……
【神谕纪元·三五二六年】
王都，大夏半导体核心制造基地。
整整二十年的试错与图纸迭代。
无数次因为碎屑污染反射镜而导致的停机清洗，无数次因为
第510章 十八纳米光刻机-->>(第2/3页)，请点击下一页继续阅读。