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第77章 联调倒计时

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"张工急了。

    "张工,"苏宇看着他,一字一句,"我信你。"

    "光学、光源、工件台,每一关,你们都是踩着"不可能"过来的。这一次——我也信,你们能行。"

    张工怔了怔,最后咬牙:"行!苏总,你把话放这儿了,我张工就是不吃不睡,五天之内,把温控结构给我造出来!"

    "去吧。"苏宇拍拍他的肩膀。

    联调倒计时第十三天。

    张工带着光源组,连轴转了四天四夜,压电陶瓷主动温控结构,终于装上了试验台。

    "二次点火!"

    "轰——"

    等离子体的白光,再度亮起。

    这一次,功率曲线,稳稳地趴在545瓦上。

    一小时。

    两小时。

    四小时。

    六小时。

    "八小时到了!"张工的声音,嘶哑却亢奋,"稳定运行八小时——通过!"

    厂房里,爆发出一阵压抑已久的欢呼。

    "第一项测试过了!"

    "整机稳定运行,八小时零故障!"

    苏宇也松了一口气。他看了看系统面板——任务倒计时,还剩十一天。

    "接下来,"他说,"第二项测试——动态联调。"

    "光源、工件台、光学、软件,四模块协同。模拟真实流片工况,连续运行十六小时。"

    联调倒计时第十天。

    第二项测试,开机两小时,出现新问题。

    "工件台在高速移动时,光学链路的对焦出现滞后!"陈博士盯着屏幕,"滞后时间大约0.8毫秒。"

    "0.8毫秒……"王磊沉吟,"这个滞后,会导致曝光位置偏差。0.5纳米的制程,0.8毫秒的滞后,足以让一片晶圆报废。"

    "什么原因?"苏宇问。

    "软件的问题。"陈文渊的声音从扬声器里传来。他人在芯片设计中心,远程参与联调,"四模块协同的同步逻辑,用的是传统的时间片轮转算法。光源、工件台、光学各有自己的时钟,同步靠软件对齐——高速工况下,软件对齐的延迟就暴露了。"

    "有没有办法?"苏宇问。

    "有。"陈文渊说,"改用事件驱动架构——让光源出光事件,直接触发工件台和光学的响应。事件驱动,零延迟。"

    "改架构?"王磊皱眉,"联调都跑到一半了,现在改软件架构……"

    "风险大,但值得。"陈文渊的声音很稳,"我带着团队,二十四小时在线。三天之内,把新架构切上去。"

    苏宇沉默了几秒。

    任务倒计时,只剩八天。

    "陈工,"他缓缓开口,"你有多大的把握?"

    "七成。"陈文渊说,"苏总,我在高通十二年,改过不下二十次架构。这一次,我赌上这十二年的经验——三天,一定给你一个新架构。"

    "好。"苏宇点头,"三天。软件组,全力配合陈工。"

    联调倒计时第七天。

    陈文渊的新架构,在第四天凌晨三点,切入了整机。

    "二次联调开始!"

    "点火!"

    "光源正常!工件台同步正常!光学对焦正常!"

    "动态工况模拟——开始!"

    这一次,四模块像咬合严密的齿轮,高速运转,分毫不乱。

    "对焦滞后——消除!"

    "曝光位置偏差——0.1纳米以内!"

    "连续运行十六小时——通过!"

    厂房里,欢呼声再次响起。

    苏宇看着那台轰然运转的钢铁巨兽,心里却并没有完全放松。

    他调出系统面板。

    "任务【EUV总装】:当前进度:2/3——总装(完成)、联调(进行中)、流片(未完成)。"

    

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