第266章 华清大学的光刻机

    华清大学，精密仪器系大楼，一楼。

    整个一楼，都被建设成为了精密光学仪器加工工厂，在内部被称为9003实验基地，而华清大学的光刻机，就是在这里诞生的。

    大年初三，已经到了上班的时间，大楼里人来人往。

    一名瘦弱的中年人，走进了9003实验基地的办公室，刚刚想要换衣服，通过强力风道进入，开始一天的工作，就被人叫住了。

    “老徐！”

    徐教授扭头，看向叫自己的人，系主任沈钊，同时也是这个加工厂的厂长。

    “老徐，走，先去会议室里开个会。”

    “好。”

    会议室内的气氛……有些不一样啊，刚刚过年回来，大家伙难道不应该是喜笑颜开的吗？怎么个个愁眉苦脸的样子？

    “大家伙都到齐了，咱们开会。”沈主任开口：“昨天的时候，我去上面相关部门拜年，电子工业系统的领导说，我们的光刻机项目的研发经费，可能会……”

    徐教授的心瞬间咯噔一下：“会怎么样？”

    “会大大的缩减，毕竟……我们国家要搞经济建设，很多项目都要忍耐，我们的光刻机……到目前为止，就卖出去了两台，根本就无法支撑起来庞大的研发经费，所以……”

    徐教授腾的一下子站了起来：“没错，国家是要搞经济建设，但是，我们光刻机，也是为了国家的经济建设服务的，我们能制造出来一流的芯片，那就意味着能获得大笔的利润，甚至能出口创汇！”

    “是啊，道理是这个道理，但是现在……”沈主任有些无奈地开口：“现在，我们研发的光刻机，根本就没有单位采购，庞大的研发经费无法转化为生产力，所以……”

    “哼，国内的很多企业，都希望能从国外采购，明明国外的设备还不如我们的先进！”徐教授恼火地说道：“78年之后……”

    这是个让人愤怒的事情！

    1960年，徐教授从华清大学毕业，之后就留校任教，再然后，在那个特殊的年代里，被下放到了鄱阳湖，在那边的农场里种水稻。

    1971年的某一天，他被农场负责人半夜敲门，还以为自己要完了，没想到，是首都发来急电，让他回首都，有重要任务。

    徐教授扔下了稻秧，来到了首都，才知道国家要研制半导体生产的关键设备：光刻机。

    当时的他，还只是助教，就去参加这种重点项目，从此，就开始了造光刻机的历史，他永远都没有忘记，当时接受任务时候的激动心情，我们祖国的半导体产业，就寄托在我们身上！

    华清大学调动了五个系，数百人的研发团队，开始了辛苦的攻关，从光刻机需要的氦-氖气体激光器的研制做起，到精密导轨、丝杠、滚珠、步进电机、控制计算机、光学系统、大孔径的投影物镜等，所有的设备，都是自己设计自己制造。

    就这样，东方第一台投影光刻机终于诞生！

    光刻机刚刚诞生的时候，都是接触式光刻机，掩膜直接覆盖到硅片上，直至七十年代，美国Perkin-Elmer公司研制成功1:1投影式光刻机。

    把光刻胶涂在硅片上，然后用光源照射，从而把该去掉的光刻胶通过光源给刻蚀掉。

    最早用的是汞灯当光源，扫描台拖着硅片，和掩膜一起同步运动，光源通过狭缝变成均匀光，把图案投影到光刻胶上。

    仅仅这个装置，就把芯片的良品率从百分之十提升到了百分之七十。

    不过，由于要移动，所以个头比较大，结构很复杂，于是，后来美国的GCA公司，又开始搞起来了分步重复精缩投影光刻机，掩膜和硅片不需要同步移动，同时物镜还能缩小倍率，这样掩膜版的制作难度大大降低。

    这个东西诞生之后，光刻机的具体技术路线，就固定下来了，之后不断提升光源，改进技术，但是基本结构是不变的，除非是后世那种3纳米芯片需要的EUV光刻机，其余的，都是这个结果。

    徐教授他们开始研究之后，瞄准的就是投影式光刻机，前些年，这种光刻机已经研发成功，接下来，就应该再接再厉，研发分步投影的光刻机！

    可惜，时代变了！

    曾经重要的产品，已经能买到了！

    这其中的转折，就是1978年，当时巴黎工业展览会，东方把光刻机送过去了，一番展览之后，西方知道东方能搞这种光刻机了，所以，不用搞什么禁售了。

    己方的光刻机在巴黎工业展览会上展示了东方的技术水平，回来后，一个个说要买光刻机的单位，都不要了！

    只有109厂采购了一台试用之外，就是9003基地里的那台了。

    现在，他们还想要继续研制分步投影光刻机，上面已经犹豫了，不想给提供资金了！

    早知道，78年的时候就不去参加展览了！但是……那是上级的命令，己方只能遵守，甚至，当时出国的人，没一个是光刻机的研发人员，在会议现场被问了个

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